직무 · SK하이닉스 / 공정설계
Q. 단면/표면 분석으로 thermal migration을 진단할 수 있나요?
금속의 thermal migration을 측정기기나 분석기기로 진단할 수 있는지 궁금합니다. 예를 들어 단면을 분석했는데 spike의 존재를 눈으로 볼 수 있다던지, 표면이 너무 울퉁불퉁하다던지, 혹은 thermal migration이 진행됐을 때 특징적인 iv curve나 다른 특성이 나타나는지 등이 궁금합니다. 그리고 측정/분석기기로 진단할 수 있다면, 어떤 기기로 가능할지, 어떻게 불량 원인을 분석하는지 궁금합니다.
2022.03.15
답변 3
- aak1234SK하이닉스코차장 ∙ 채택률 66% ∙일치회사
안녕하세요 멘티님 TEM을 이용해 단면을 보면 실제로 spike, 거친표면모양 등의 모습을 확인할 수 있습니다. 이를 통해 증착/CMP 등의 공정이 잘 이루어졌는지 파악합니다. 감사합니다.
- 행행복주입소SK하이닉스코전무 ∙ 채택률 71% ∙일치회사
안녕하세요 멘티님, 보통 TEM 분석을 많이 사용합니다. 해당 분석으로 THERMAL MIGRATION 특이점을 파악합니다. 감사합니다. 좋은 하루 되세요~!
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
보통 FIB나 TEM분석으로 마이그레이션 특이점을 파악할 수 있습니다.
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