면접 · KLA-텐코 코리아 / 설비관리/운영
Q. KLA 검사장비 관련
안녕하세요 KLA CSE지원자로 다음주 1차면접을 준비하고 있습니다. 반도체 공정 장비에 대한 내용은 많은데 검사, 계측장비에 대한 정보는 잘 없어서 여쭤봅니다.. 제 생각엔 검사, 계측장비는 회로패턴의 미세화에 따라 검출해야할 defect도 미세화 되고 원하지 않는 패턴을 발견하기 위해서라도 더 작은 size까지 측정할 수 있는게 핵심이라 생각합니다. KLA 장비의 경우 전자빔 등으로 나노스케일의 결함들을 발견하는것으로 알고 있는데, 기계공학도로서 어떤 기술적인 결함 극복에 기여할 수 있을지 궁금합니다. 예를들어 EUV의 경우 진공상태를 위해 진공펌프 관리가 중요한데 검사장비는..현재 어떤 한계를 겪고 있는지 알고 싶습니다...!
2021.07.02
답변 2
조조+원익코부장 ∙ 채택률 77%
채택된 답변가장 중요한건 시간입니다. 생각보다 시간이 오래걸리며 이후 재검사 폐기 까지 2중 검사가 힘들다는 단점도 있습니다.
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%채택된 답변
검출능력의 한계라 보실수 있는데, 사실 이부분에 대한 건 기계공학도적인 지식보다는 광학적 지식이 더 많이 요구됩니다. 또한 중요한 것이 검출은 되지만 검출시간이 너무 길어져 생산성이 떨어지게 되는것도 문제가 된다는 점을 알고 계시면 좋습니다.
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