3주차- 매우 추천해요!금일 피드백 내용 관련해 제가 이해 못한 부분이 있어 몇 가지 질문을 드리고 싶습니다. 1. 멘토님께서 Auto Leak Check Test는 외부 Leak뿐만 아니라 내부 Leak도 확인할 수 있는 시험으로 3번 상황에서 RoR이 음수로 떨어진 것은 내부 Leak이 발생했기 때문이며, 환산 시 약 13 mTorr/Sec로 절댓값도 크기 때문에 외부 Leak도 포함된 것이라고 하셨습니다. 외부 Leak의 경우, 보통 챔버의 압력이 진공 상태이기에 외부 압력보다 낮아 밖에서 안으로 Leak이 발생해 RoR 값이 양수로 나오므로 내부 Leak과 부호가 반대일 것 같은데, 지금 상황은 음수로 RoR 값이 나오기에 크기로 외부 Leak이 있다고 판단하는 건 어렵지 않나 싶습니다. 오히려 약간의 외부 Leak이 있고, 절댓값이 큰 내부 Leak이 있어 음수로 측정된다는 해석이 맞다고 생각합니다. 2. 또한 Pressure Alarm 상황의 경우 경험에 비추어 볼 때, 펌프시스템의 기능 저하로 APC 동작에 문제가 생기는 경우가 많다고 하셨습니다. 저는 펌프 문제라고 생각하지 않았던 이유가 Actual 값(0mTorr)이 Set 값보다 훨씬 낮기 때문에, 배기 성능 자체에는 문제가 없다고 판단했습니다. 단순히 실측되는 압력값으로 펌핑 능력을 판단하면 안 되는 것인지 궁금합니다.권** 2026.09.19
1주차- 매우 추천해요!피드백이 정말 상세합니다. 단순 정오 여부만 알려주는게 아니라 공정기술 직무로서 가져야 할 태도나 알아야 할 점 등에 대해 자세히 피드백 해주십니다.서** 2026.09.19
